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摘要：為了探究原子光刻中基片與會聚激光場間距對沉積納米光柵質量的影響，我們基于VirtualLab Fusion平臺實現了基片定位控制方案中光學系統的建模和仿真。

張寶武1，霍劍鋒1，饒鵬輝2，張明月1，劉媛媛1，余桂英1，王道檔1 （1.中國計量大學計量測試工程學院，浙江 杭州310018； 2.訊技光電科技（上海）有限公司，上海200092） 摘要：為了探究原子光刻中基片與會聚激光場間距對沉積納米光柵質量的影響，我們基于VirtualLab Fusion平臺實現了基片定位控制方案中光學系統的建模和仿真。

本課程借助光之數字模型平臺VirtualLab Fusion，結合多種仿真算法，開展各類微結構的仿真設計與性能優化教學。 課程涵蓋衍射光學元件、光柵、超表面等多種微結構類型，包括蛾眼減反射表面、偏振無關光柵、超構透鏡等，涉及結構建模、參數優化、性能驗證等核心環節，無需深厚軟件基礎即可參與學習。

光學相干斷層掃描（OCT）是一種斷層成像系統，可以根據從圖像反射或散射的光生成橫截面或三維圖像。 醫用組織成像是該系統的最典型應用，因為OCT安全且具有高分辨率，儘管光可以穿透的深度限制在毫米量級。OCT測量系統依賴於邁克森干涉儀 (Michelson interferometer)，使得從參考物反射的光與樣品之間的相干性表明散射光源自樣品中與參考鏡的位置相對應的深度。

可以利用常用的軟件生成鏡頭文件，也可以用VirtualLab Fusion中的Lens Sytem表面編輯的功能進行編輯。VirtualLab Fusion仿真VirtualLab Fusion支持導入外部鏡頭文件，導入對應的鏡頭文件后會自動生成一個光路編輯器，如圖3所示。圖3.

利用FP腔研究鈉原子D線光譜 光學相干層析掃描系統 Inces - Gaussian光束產生渦旋陣列激光光束的觀測 利用剪切干涉法的準直測量 基于菲索干涉儀的面型檢測 Mirau干涉儀 基于零位檢測的CGH設計4微觀與宏觀結合的完整系統仿真 結構光照明的顯微鏡系統 用于微結構晶圓檢測的光學系統 摩爾紋的仿真

仿真結果顯示反射光呈藍色，與顏色膜的設計一致，驗證了 VirtualLab Unity 與 VirtualLab Fusion 之間可實現鍍膜方案的跨平臺共享。 工作流程 打開已有的顏色膜設計項目，并通過“開始”選項卡將其導出為 VirtualLab Fusion文件。 在VirtualLab Fusion中打開剛導出的鍍膜文件。

作為最著名的衍射效應之一，泰伯(Talbot)效應可以用于光刻技術中以制造周期性納米結構。繼I.-H. Lee等人，我們在六邊形網格上構造了一個圓錐形光柵掩膜版，并以深度方式模擬了Talbot圖像的生成。 特別是，由于光刻過程中使用的紫外光是非偏振的，因此我們在示例中演示了如何為VirtualLab Fusion中的光柵模擬建模非偏振光。

相應地，光柵分析必須使用基于矢量電磁場原理的方法。本課程使用光之數字模型平臺VirtualLab Fusion，介紹如何使用傅里葉模態法對光柵進行嚴格精確的仿真。課程涵蓋的光柵示例既有表面型光柵，也有全息型體光柵，例如傾斜光柵、閃耀光柵、用于光學超透鏡的Nanopillar結構等。此外還會介紹超表面的設計和參數優化和大角度超光柵仿真。該課程無需軟件基礎。

體積全像在許多類型的光學系統中很受歡迎，例如：抬頭顯示器（HUD）、擴增實境（AR）和虛擬實境（VR）的頭戴型顯示器（HMD）。全像能夠將光線繞射到任何所需的角度，其波長和角度的選擇性使其能夠創造更輕、更緊密的光學系統。OpticStudio長期以來一直支持理想全像的模擬。然而，為了準確地說明體積全像的特性，除了考慮繞射光線的傳播方向外，還必須考慮繞射效率、材料收縮或折射率變化等因素。

多元化光學仿真平臺的仿真原理VirtualLab Fusion 多元化光學仿真平臺的解決方案VirtualLab Fusion的用戶受益于其在不斷增長的應用范圍內的突破性技術，包括但不限于以下解決方案:?透鏡系統?激光系統和fs/as脈沖?光纖耦合?衍射光學?光柵& Metasurfaces?微透鏡陣列?擴散片和DOEs?AR / VR /

在本例中，建立了一個中間介質為石英的光學測量系統來實現在VirtualLab Fusion中測量鈉原子光譜D線。利用我們的無縫銜接的非序列單平臺互操作性，充分考慮了標準具中多次反射引起的干涉效應，并研究了添加膜層的反射率后對條紋對比度的影響。

探索X射線雙遠心光刻場景的模型拓展，突破傳統光刻的材料加工極限。2. AI驅動的高效化與智能化演進融合深度學習與物理驅動建模，基于雙遠心物鏡的光場規律性，訓練輕量化神經網絡替代部分三維電磁仿真過程，實現模型計算效率的10倍級提升。搭建數字孿生系統，實時采集雙遠心物鏡的偏振態監測數據與光刻圖形質量反饋，實現模型參數的動態自適應調整。

上海２０００９２；３.比薩大學 物理系，比薩 意大利５６１２７） 摘要：為了深入研究掃描近場光學顯微鏡（Scanning near-field optical microscope，SNOM）光纖探針導 光特性，我們利用VirtualLab Fusion光學軟件，仿真研究了光纖探針內部的光場分布。

準確仿真像面成像結果需要出瞳面處x?y?z坐標系下的三維偏振矢量，所以二維矢量成像模型在出瞳面處將偏振態從二維i?j坐標系轉換到三維x?y?z坐標系。6.像方衍射成像首先，對出瞳面上的三維電場做逆傅里葉變換，就能得到像面的電場分布。

激光掃描系統的光路圖 ? 由于VirtualLab Fusion的相對定位系統，只需要確定在z方向的距離。? 理想像差都包含在掃描鏡元件內。 7. 掃描操作中的鏡面傾斜? 因為掃描微鏡的傾斜與兩軸有關，傾斜操作并不是獨立的。

在本例中，建立了一個中間介質為石英的光學測量系統來實現在VirtualLab Fusion中測量鈉原子光譜D線。利用我們的無縫銜接的非序列單平臺互操作性，充分考慮了標準具中多次反射引起的干涉效應，并研究了添加膜層的反射率后對條紋對比度的影響。

在本例中，建立了一個中間介質為石英的光學測量系統來實現在VirtualLab Fusion中測量鈉原子光譜D線。利用我們的無縫銜接的非序列單平臺互操作性，充分考慮了標準具中多次反射引起的干涉效應，并研究了添加膜層的反射率后對條紋對比度的影響。

在本例中，建立了一個中間介質為石英的光學測量系統來實現在VirtualLab Fusion中測量鈉原子光譜D線。利用我們的無縫銜接的非序列單平臺互操作性，充分考慮了標準具中多次反射引起的干涉效應，并研究了添加膜層的反射率后對條紋對比度的影響。

張寶武1,3，饒鵬輝2，霍劍鋒1，余桂英1 ( 1.中國計量大學計量測試工程學院，杭州310018，2.訊技光電科技(上海)有限公司，上海200092；3.比薩大學 物理系，比薩56127) 摘要：為了研究掃描近場光學顯微鏡(SNOM) 光纖探針的光學特性，采用基于場追跡方法的光學軟件VirtualLab Fusion 進行了仿真實驗，取得了SNOM光學探針尖端外部光場的分布情況